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  • 詳細介紹
1、極限真空度 5.0*10-5Pa
2、無盲點鍍膜技術
3、支點自動切換技術
4、雙真空室
5、內外表面鍍制TiN-GIMS
6、配置矩形和柱狀磁控濺射
7、配置氣體離子源
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