真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)原理
發(fā)布時(shí)間：2023-05-12
一、電控柜的操作
1.開水泵、氣源
2.開總電源
3.開保持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔方位V1方位,等候其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作.約需5分鐘.
4.開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動(dòng),真空計(jì)開關(guān)換到V2方位,抽到小于2停止,約需20分鐘.
5.觀察渦輪分子泵讀數(shù)抵達(dá)250今后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥持續(xù)抽真空,抽真空抵達(dá)必定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度.真空抵達(dá)2×10-3今后才能開電子槍電源.
二、DEF-6B電子槍電源柜的操作
1.總電源
2.一起開電子槍操控Ⅰ和電子槍操控Ⅱ電源：按電子槍操控Ⅰ電源、延時(shí)開關(guān),延時(shí)、電源及維護(hù)燈亮,三分鐘后延時(shí)及維護(hù)燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有毛病,維護(hù)燈會(huì)常亮.
3.開高壓,高壓會(huì)達(dá)到10KV以上,調(diào)理束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間搖擺.
三、關(guān)機(jī)次序
1.關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵.
2.待分子泵顯現(xiàn)到50時(shí),依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵,這期間約需40分鐘.
3.到50以下時(shí),再關(guān)保持泵.
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