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問題 |
原因 |
解決方法 |
| 偏壓電源 | ||
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【ON】按鈕不工作 |
1、總配電柜上空開未閉合 |
1、將其閉合 |
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電壓不可調(diào) |
1、系統(tǒng)控制板(A1)接線端子虛接 |
1、檢查并擰緊 |
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電源脈沖占空比不可調(diào) |
1、系統(tǒng)控制板(A1)接線端子虛接 |
1、檢查并擰緊 |
| 工件加熱器 | ||
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【ON】按鈕不工作 |
1、總配電柜中的空開(Auto 1)未閉合 |
1、將其閉合 |
| CAE電源 | ||
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“ON”開關(guān)不工作 |
1、總配電柜中的空開未閉合 |
1、將其閉合 |
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電壓輸出(空載)< 60 V |
1、總配電柜中的空開接觸不好,造成電源缺相 |
1、更換它 |
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電流不可調(diào) |
1、控制電纜連接失敗 |
1、將它們裝好 |
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蒸發(fā)源不引弧 |
1、引弧針未挨著Ti塊 |
1、調(diào)整引弧針位置 |
| 真空泵系統(tǒng) | ||
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真空泵未開啟 |
1、中央控制柜上的空開(AUT1)未開 |
1、將其閉合 |
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抽真空時(shí)間太長 |
1、空氣太潮濕 |
1、當(dāng)真空室打開時(shí)保持加熱狀態(tài) |
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真空閥不動 |
1、沒有壓縮空氣 |
1、檢查壓縮器和管道 |
| 供氣系統(tǒng) | ||
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“ON”開關(guān)未開啟 |
1、復(fù)合真空計(jì)未開 2、真空度未到 3、從控制柜到真空室底架右側(cè)的電纜沒插好 4、從系統(tǒng)控制板(A1)板到控制面板的電纜沒插好 5、控制柜中的+5V 和+15V DC電源損壞 |
1、首先開啟真空計(jì) 2、等待真空度到達(dá) 3、將其插好 4、將其插好 5、檢查直流電源(B2和C)和電源線端子 |
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氣體質(zhì)量流量不可調(diào) |
1、控制電纜連接失敗 2、氣路手動球閥關(guān)閉 3、氣體用完 4、氣體質(zhì)量流量控制閥失去控制 5、控制柜中的氣體質(zhì)量流量控制電路板損壞 6、真空電磁閥損壞 |
1、找出并糾正 2、檢查并打開 3、檢查并更換氣瓶 4、檢查并更換 5、檢查并更換 6、檢查并更換 |
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中央控制系統(tǒng) |
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按下【SYSTEM ON】不上電 |
1、總配電柜中的空開(Auto1)未閉合 2、中央控制柜前門上方的空開(AUT1)未閉合 3、系統(tǒng)控制板A1和功率輸出板A2間端子問題 4、功率輸出板A2內(nèi)的UPS未啟動 5、中央控制柜的控制面板門未關(guān)好 6、功率輸出板A2內(nèi)的FUSE熔斷器問題 |
1、閉合空開 2、閉合空開 3、檢查并接好 4、啟動UPS 5、關(guān)好控制面板門 6、檢查并更換 |
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【RECYCLE】不能啟動自動鍍膜程序 |
1、系統(tǒng)處于“MANU”狀態(tài),“MANU”顯示亮 2、前門未關(guān) 3、系統(tǒng)仍有報(bào)警 |
1、轉(zhuǎn)至“AUTO”狀態(tài) 2、關(guān)好門 3、解決所有報(bào)警問題 |
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上位計(jì)算機(jī)(IPC) |
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計(jì)算機(jī)不工作 |
1、系統(tǒng)沒有上電 2、中央控制柜內(nèi)UPS沒有工作 3、功率輸出板A2內(nèi)的FUSE熔斷器問題 4、電源線問題 |
1、啟動設(shè)備系統(tǒng) 2、啟動UPS 3、檢查并更換 4、計(jì)算機(jī)電源必須插在專用的插座上 |
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點(diǎn)擊設(shè)備上位機(jī)監(jiān)控軟件不能啟動 |
1、系統(tǒng)沒有上電 2、RS-232 電纜未插好 |
1、啟動設(shè)備系統(tǒng) 2、插好電纜 |







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