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ES500是我公司推出的一款釹鐵硼材料表面鍍鋁設(shè)備,傳統(tǒng)的鋁鐵硼材料鍍鋁來防腐蝕,一般都是通過水電鍍的方式處理,水電鍍的主要問題是質(zhì)量不可靠、生產(chǎn)過程中對環(huán)境的污染嚴重,我們利用真空鍍膜原理,利用磁控濺射和熱蒸發(fā)的鍍膜方式,輔助以高壓離子轟擊,在釹鐵硼材料上實現(xiàn)快速鍍制致密鋁膜,ES500設(shè)備的主要技術(shù)規(guī)格如下:
 
真空室尺寸 L1000mm * H1000mm * W700mm
均勻可鍍區(qū) Ø600mm * 700mm
極限真空度 3.0*10-4Pa
壓升率 0.33Pa/hr(常態(tài))
冷卻水 5ton/hr
占據(jù)空間 4.0*3.0*3.5m3
真空室 日韓304不銹鋼,雙層內(nèi)襯,五年質(zhì)保
抽氣系統(tǒng) Leybold擴散泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵
真空檢測 SKY90復(fù)合真空計
流量控制 七星華創(chuàng)7S-CS200數(shù)字流量計/Brooks/MKS/AE
轉(zhuǎn)架 大網(wǎng)籠帶一次自轉(zhuǎn)和小網(wǎng)籠帶二次自轉(zhuǎn),保證工件之間無磕碰接觸
磁控濺射 柱狀濺射靶1套
蒸發(fā)舟 氮化硼蒸發(fā)舟5套
送絲機構(gòu) 送絲速度可調(diào),保證不同的蒸發(fā)沉積速率
轟擊電源 最高可達3000V
加熱系統(tǒng) 最高300度,2根熱電偶監(jiān)測
冷卻水循環(huán)系統(tǒng) 配日本SMC水流開關(guān),智能控制
電氣元件 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器

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